世界初ナノレベルのキズ欠陥を広視野高速で検出

３Ｄ形状計測できるレーザ走査イメージャ
①干渉タイプを用いると５０nmの変化形状測定が可能です。
②キズや深い穴の欠陥も検出可能です。
③円筒面の形状計測やは画像取得も可能です。
画像ソフトで欠陥検出可能です。

特許取得・各種認証等取得状況	今までに出願した特許件数は２５件。レーザ走査イメージャ、直描画装置に使用されている。
提供できる価値及び応用分野	レーザ走査イメージャの光学ヘッド部、光学ユニットを提供することにより、今まで出来なかった検査装置の開発が期待される。
医療分野参入（取引）実績	透明フィルム、サファイヤウエハ、セラミック、ガラス、蒸着膜、樹脂等の傷欠陥検査に実績あり。新技術として干渉縞を利用してナノレベルの測定が出来る装置の開発を行っている。