表面機能化

デバイスやシステムを構成する材料を表面処理、薄膜形成等により付加価値の高い機能部材に変貌させる技術とその具体的な応用事例を紹介する。　ここでは、技術紹介として各種薄膜作製事例を、また機能付与応用事例として光触媒防汚機能、遮熱機能、帯電防止機能、ガスバリヤ機能、透明導電機能等を、さらにプロセス応用事例として超薄ガス吸着接合技術を紹介する。